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FS6122系列医用CPAP传感器模块
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FS6122系列医用CPAP传感模块是专为家用呼吸机的CPAP系统（持续正压通气系统）而设计流量传感器。传感器集成了MEMS质量流量芯片和MEMS压力芯片，从而为CPAP系统提供了必要的输出信号。传感器的封装非常小，采用入气口与出气口不同的ISO 22mm接口设计，在提供高精度和快速响应的质量流量和压力信号的同时，自身的压损和死腔也非常小。
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MFC2000系列质量流量控制器
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FS1015CL系列气体质量流量传感器
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气体质量流量计

MF4600系列气体质量流量计
产品类别： 气体质量流量计

MF4600系列气体质量流量计是均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4600具有类似于转子流量计的气路结构，但该流量计具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4600直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4600具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。
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MF4600系列气体质量流量计
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    MF5000系列气体质量流量计 是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表，主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装和维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
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    MF5900系列气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款流量范围大、带显示、带按键，能够实现网络化的计量仪表。该仪表可用于多种气体流量监测、测量和控制等应用场合。
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    MF2000系列气体质量流量计是专为各类低成本工业气体进行各种管理和控制而设计。该系列仪表可提供直观的质量流量信息，友好的用户界面设计（RS485/4~20mA）可轻松的进行数据处理。该类产品可适用于管径25~50mm的管道，精度为±(1.5+0.5FS)%，同时有50:1的量程比。
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    发布时间: 2022 - 09 - 12
    HMF2000系列手持式气体质量流量计是专门为仪器仪表及在线检测大量程多种气体精密测定和检测设计的。产品采用了MEMS流量芯片测量专利技术，具有超大测量量程和极低流速测量的能力，从而可用于特别是类似于色谱仪、大气采样等仪器仪表及气体在线应用，以保证定期检查和系统的正常运行。
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